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氮化硅PECVD 关于氮化硅PECVD介绍

2023-08-20 12:13:03 来源：互联网

(资料图片仅供参考)

1、氮化硅PECVD是一种用于化学、信息与系统科学相关工程与技术、材料科学、化学工程领域的工艺试验仪器。

2、于2019年3月11日启用。

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